新型耐腐蝕 MEMS PIRANI 真空傳感器帶來(lái)模式轉變

幾十年來(lái)，MEMS Pirani 傳感器一直被用于許多不同的真空應用中，以測量和控制真空氣體壓力。MEMS Pirani 技術(shù)有很多優(yōu)點(diǎn)，但到目前為止，由于其暴露在外的材料，該技術(shù)的使用和適用范圍受到了限制。半導體行業(yè)常用的腐蝕性氣體和侵蝕性蝕刻工藝會(huì )損壞傳統的 MEMS Pirani 傳感器，因此電容式隔膜真空計和對流式 Pirani 真空計一直是半導體工藝暴露和其他惡劣環(huán)境下的理想選擇。

Sens4 現推出一系列新型 MEMS 皮拉尼傳感器，其保形保護涂層可有效阻隔腐蝕性氣體。根據不同的應用，SmartPirani傳感器系列現在可選配陶瓷或聚對二甲苯保護層，以防止傳感器材料的腐蝕或氧化。

陶瓷具有很強的耐腐蝕性，是電容式隔膜真空計中真空傳感器隔膜的理想材料。陶瓷阻隔層選項專(zhuān)為半導體蝕刻和 CVD 應用而設計。

聚對二甲苯是一種獨特的聚合物，具有高度耐腐蝕性和疏水性。Parylene 阻隔層專(zhuān)為醫療應用而設計，包括但不限于凍干和滅菌。 

在某些應用中，微粒會(huì )損壞真空計，針對這些應用，SmartPirani 傳感器配有保護性擋板，可作為宏觀(guān)微粒的屏障。結合涂層選項，新型 SmartPirani傳感器可用于惡劣的真空環(huán)境。

“Sens4 A/S 首席執行官 Ole Wenzel 表示："很明顯，我們在 2019 年推出的 MEMS SmartPirani傳感器技術(shù)在性能和堅固性方面都優(yōu)于對流線(xiàn)皮拉尼真空計。”Ole繼續說(shuō)道：“我們在各行各業(yè)都體驗到，客戶(hù)希望從老式的對流線(xiàn)皮拉尼真空計轉向更先進(jìn)的現代真空計，而保護涂層則是擴大我們傳感器技術(shù)應用領(lǐng)域的一個(gè)推動(dòng)因素。”

Sens4 A/S 首席技術(shù)官 Caspar Christiansen補充說(shuō)：“我們不僅在皮拉尼傳感器上推出了保護屏障選項，還在壓電膜片上推出了不受氣體類(lèi)型和濃度影響的測量功能。”卡斯帕繼續說(shuō)道：“這種強大的耐腐蝕組合可提供同類(lèi)的測量性能，測量范圍從 1E-6 到 1333 mbar，測量精度從 2 到 1333 mbar，不受氣體類(lèi)型的影響。”